气浮超精密晶圆研磨电主轴
01 高精度
由于气体静压轴承的均化效应及高达0.2μm的零件加工精度， 该主轴具有超高的回转精度。
02 高刚性、低振动
轴向刚度可达400N/μm，径向刚度可达100N/μm。运行过程中低振动，保证加工过程的稳定性。
03 长寿命
采用气体静压轴承，非接触，无磨损，长寿命。
04 高配置
配备高性能交流永磁同步电机，大扭矩输出，适用于多种加工应用。
05 高可靠性
采用三段式冷却结构，主轴保持恒温加工，各项性能稳定可靠。
04
直线电机
01 高效率
快移速度比旋转伺服电机提升1倍以上。
02 高精度
双向重复定位精度高达1μm。
03 大推力
连续推力550N-6200N，峰值推力1100N-12000N。
04 高防护等级
IP65高防护等级。
05 超低温升
专利化冷却结构，温升超低＜2K。
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